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글러브 박스 진공 챔버

글러브 박스 진공 챔버는 산화 및 수분에 민감한 물질을 다루기 위한 혐기성 및 무수 작업 공간을 생성하는 주요 장비입니다. 이 장치는 자체 글러브 포트가 있는 밀폐된 방으로, 작업자가 다른 환경에서 작업을 수행할 수 있도록 합니다. ColdFET는 고품질 가스(펌핑 다운 및 N2 또는 Ar 가스를 사용)와 깨끗하고 오염되지 않은 환경을 유지하는 초저압(일반적으로 진공 상태) 챔버에서 사용됩니다. 이러한 장치는 반도체 제조, 재료 과학 및 화학 연구와 같이 대기와의 격리가 필요한 응용 분야에서 가장 일반적으로 사용됩니다.
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글로브 박스 진공 챔버의 장점에는 수분 및 산소에 민감한 반응을 위한 필수 요소인 불활성 분위기를 생성하고 유지하는 능력이 포함됩니다. 이들은 위험한 물질을 환경과 인원으로부터 차단하여 높은 안전성을 제공합니다. 진공 시스템은 오염물질의 흔적을 제거하기 위해 내부 환경을 더 잘 제어할 수 있게 해줍니다. 또한, 챔버는 특정 실험 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 내부 분위기를 미세 조정하기 위해 진공 게이지 및 가스 정화 시스템이 자주 장착되어 있습니다. 재료와 장비가 진공 챔버 안팎으로 어떻게 전달되는지 설계는 또한 제어된 조건을 침해하지 않고 고립된 환경으로 재료와 장비를 전달할 수 있는 장치를 진공 챔버에 포함시킵니다.

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